X射线荧光光谱仪由莫塞莱定量可以看来，特征X射线的波长与元素的原子序数间有单值关系。根据这个定律，只要测出某元素发出的一组特征X射线的波长，就可以确定它是什么元素。目前除了超轻元素外，绝大部分元素的特征X射线的波长都已由实验测出，并已制成表。这样，只要查表对照就可确定被分析的是什么元素。这就是X射线荧光的定性分析方法。
在定性分析的基础上，如果还能测出特征谱线的强度，然后把它和标准含量样品的特征谱线强度相比较，就可确定被分析元素的含量。这就是X射线荧光的定量分析方法。当然，这仅是分析方法中的一种，即所谓的外标法。此外，还有内标法、增量法、数学方法等。
X射线荧光分析仪具有检测元素广、分析速度快，准确率较高等特点，可大大减轻分析人员的劳动强度，及时提供分析依据。
现代X射线荧光光谱仪分两种类型：波长色散型与能量色散型。波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)一般由光源（X射线管）、样品室、分光晶体和检测系统等组成；能量色散型荧光光谱仪（ED-XRF），一般由光源（X射线管）、样品室和检测系统等组成，与波长色散型荧光光谱仪的区别在于它不用分光晶体。
元素分析范围从硫（S）到铀（U）。
分析含量一般为0.1ppm到99.9％。
有害元素检出限比普通的台式X荧光光谱仪有极大的提高。
温度适应范围为15℃至30℃。
电源：交流220V±5V。建议配置交流净化稳压电源。
标准配置
超锐X光源和样品激发机构。
上盖电动开关的大容量样品腔。
可自动切换的准直器，滤光片。
高清晰CCD摄像头。
SDD探测器。
信号检测电子电路。
高低压电源。
计算机及喷墨打印机。
X荧光分析软件
外观尺寸： 700(W) ×580(L) ×435(H)mm
样品腔尺寸：350(W) ×353(L) ×93(H)mm
重量：90k